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Tag Archives: MEMS

EV 그룹, 나노종합기술원에 첨단 MEMS 연구 및 파운드리 서비스용 고진공 웨이퍼 본더 공급

MEMS, 나노 기술, 반도체 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 분야의 선도적인 공급 업체인 EV 그룹(이하 EVG)은 대전에 위치한 한국나노종합기술원(NNFC)에 고진공 EVG520IS 반자동 웨이퍼 본딩 시스템을 공급했다고 밝혔다.

한국과학기술원(KAIST) 계열의 NNFC는 이미 EVG520IS 웨이퍼 본더를 보유 중이며, 첨단 MEMS 연구 및 파운드리 서비스를 위해 사용하고 있다. EVG 시스템은 고진공 환경이 요구되는(5×10-6 mbar이상) 자이로스코프와 마이크로-볼로미터와 같은MEMS 응용에 매우 이상적이다.

EVG의 폴 린드너(Paul Lindner) CTO는 “EVG는 KAIST, NNFC와 같이 마이크로 전자 및 나노 기술 산업을 이끄는 새로운 공정 및 기술 개발에서 독보적인 위치에 있는 학계 및 연구 기관들과 오랜 협력 관계를 가지고 있다. 이번 협력은 새로운 마이크로, 나노기술 완제품과 응용 개발 분야에서 우리의 공정 솔루션이 제 역할을 다할 수 있는지, 그 기회를 확인할 수 있는 전략 중 매우 중요한 부분이다. 나노 기술의 개발, 교육 및 상업화 촉진에 대한 미션과 비전을 함께 지지하는NNFC에 우리 제품과 서비스를 제공하게 되어 매우 기쁘게 생각한다”고 밝혔다.

EVG는 수십 년 동안 국내 디바이스 제조사, 마이크로 학계 및 연구 기관 그리고 나노전자 산업과 긴밀히 협력하며 국내 시장에서 강한 영향력을 가지고 있다. EVG 코리아는 EVG의 고객 및 파트너를 위한 현지 지원을 개선 및 향상시키기 위해 2008년 설립되었다. 국내 영업 외에도 고객 지원, 현장 지원 그리고 예비 부품관리 팀 이외에도 EVG 코리아 자체의 기술 개발 및 공정 기술팀을 가지고 있다.

EVG520IS는 Anodic, Thermo Compress 본딩, 퓨전 본딩, 그리고 저온(LowTemp™)플라즈마 본딩을 포함한 모든 웨이퍼 본딩 프로세스를 구현화 할 수 있다.

파워일렉트로닉스 매거진 power@icnweb.co.kr

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Posted by on January 28, 2016 in Market

 

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이제, 몇층에 있는지가 아니라 몇번째 계단에 있는지를 확인하자

ST마이크로일렉트로닉스, 더욱 정밀해진 3D 위치확인 압력 센서 출시

세계 초소형 디지털 압력 센서, 정밀 고도 측정 위해 혁신적인 MEMS기술 이용

다양한 전자 애플리케이션을 제공하는 세계적인 반도체 회사이며, 세계 최고의 MEMS 제조사이자 , 휴대 기기용 MEMS 센서의 리더인 ST마이크로일렉트로닉스 (STMicroelectronics, 이하 ST)가 새로운 압력 센서 LPS331AP를 출시했다.

이번 신제품은 휴대폰과 같은 휴대 기기에서 해수면 기준 고도를 매우 정밀하게 측정할 수 있다. 이는 현재 건물의 ‘몇 층’에 있는지가 아니라 ‘몇 번째 계단’에 있는지를 파악하는 수준의 정밀한 수치 제공이 가능하다는 뜻이다.

모바일 기기 상에서의 정확한 위치 확인은 최근 각광받는 다양한 위치 기반 서비스의 핵심 요소이다. 또한, 이러한 서비스는 모바일 관련 산업에서 차세대 ‘뜨는 앱’으로 큰 기대를 모으고 있다. 공간 해상도, 신뢰성, 물리적 크기, 내구성 및 비용 등의 제약을 해결하면서 모바일 기기의 위치를 3차원으로 확인할 수 있는 방법을 제공하는 것이 숙제이다.

위도와 경도에 대해서는 GNSS(글로벌 내비게이션 위성 시스템)가 전 세계적으로 널리 사용되는 솔루션인데, 이 시스템은 4개 이상의 위성에서 신호 수신이 가능한 최적의 상태에서 1미터 내의 오차로 장치의 수평 위치를 측정할 수 있다.

하지만, ST는CSR社와 함께 위성 신호가 전혀 없는 곳에서도 모바일 기기의 수직 및 수평 위치를 확인할 수 있는 실내 내비게이션 솔루션을 개발하여 시연에 성공했었다.

3차원 위치(수직 고도)의 확인을 위해서는 기압 측정이 GNSS보다 더 나은 해결책을 제공할 수 있다. 고도가 높아질 수록 압력이 서서히 점진적으로 떨어지는 특성을 활용하기 때문에 위성 신호가 4개 이하로 확인되는 경우에도 유용하기 때문이다.

이번에 출시된 ST의 최신 압력 센서는 260 밀리바에서 1,260 밀리바 사이에서도 기압을 매우 정확하게 측정할 수 있다. 260 밀리바는 에베레스트산 정상 보다 1,500미터나 더 높은 약 10km 높이에서의 일반적인 기압이며, 1,260밀리바는 해수면 1,800미터 아래에서 나타나는 기압으로, 이는 역사상 가장 깊이 파내려간 광산의 절반 깊이에 맞먹는다.

이번 신제품은 3x3mm 패키지로 제작되고 저전압 및 초저전력 소모를 보장하기 때문에 스마트폰, 스포츠 시계 등 뿐만 아니라, 기상 관측소, 자동차 및 산업용 애플리케이션 등에서도 이상적이다. LPS331AP는 삼성이 가장 최근 선보인 최첨단 스마트폰에도 탑재가 된 상태이다.

ST마이크로일렉트로닉스의 아날로그, MEMS 및 센서 그룹의 베네디토 비냐(Benedetto Vigna) 부사장은 “컨수머 기기에서의 MEMS 디바이스 탑재가 시작된 이후, 우리는 중력, 가속화, 각속도 및 지구 자기장 감지가 가능한 제품을 개발하여 제공해왔다.”며 “이러한 센서들은 스마트 기기의 동작에 대한 감지 및 대응을 지원하는데, 이번에 새롭게 선보이는 디바이스는 대기의 무게를 파악하여 사람이나 물체가 위로 올라가는지 아래로 내려가는 지를 인식하도록 돕는다.”고 소개했다.

LPS331AP는 일체형 실리콘 칩에 압력 센서를 제조를 하는 “VENSENS”라고 불리는 MEMS 특유의 제조 기술로 생산된다. 이런 방식은 웨이퍼-투-웨이퍼 접합이 불필요하고 제품 신뢰성은 증대된다. LPS331AP의 센싱 요소는 틈을 제어하고 내부 압력이 확인된 공기의 동공 위에 자리한 유연성이 좋은 실리콘 막(membrane)에서 비롯된다.

이 막은 기존의 마이크로머신으로 제작된 실리콘 막에 비해 훨씬 작을 뿐만 아니라 내장형 기계식 스토퍼가 파손을 방지해준다.

압전저항(piezoresistor)은 이 실리콘 막이 외부 압력에 따라 구부러지면 전기 저항이 변화하는 아주 작은 구조물인데, 실리콘 막 안에 내장되어 저항의 변화가 모니터링되고 실리콘 외부 압력 변화에 따라 구부러짐에 따라 전기 저항이 달라지는 작은 구조물인 압전저항(piezoresistor)은 멤브레인에 내장되어 있고 저항 변화는 모니터링되고, 온도 변화를 보완하며, 디지털 압력값으로 변환되어 호스트 프로세서의 산업 표준형 I2C 나 SPI 인터페이스로 읽을 수 있게된다.

LPS331AP는 현재 맞춤형 설계 및 제품주기 단축을 위한 샘플 및 평가 키트도 제공 가능하다. ST의 압력 센서 평가 키트는 마더보드(STEVAL-MKI109V2), 플러그-인 모듈, LPS331AP 압력 센서를 포함한 STEVALMKI120V1 어댑터로 구성되어 있다.

아이씨엔 매거진 2012년 10월호

 
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Posted by on January 21, 2016 in Automation

 

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ams, 고전압 CMOS 공정기술로 확장성 우수한 트랜지스터 공급

고성능 아날로그 IC  및 센서 전문기업인 ams(지사장 이종덕)의 풀서비스파운드리 사업부는 업계 선도적인 0.35µm 고전압 CMOS  전용 공정 플랫폼의 활용을 더욱 확장한다고 발표했다. 고전압 공정 전문기술력으로 제공되는 진보된 “H35” 프로세스는 획기적으로 면적을 축소하고 성능을 향상시킨 전압 확장가능한 트랜지스터 셋트를 포함한다.

새로운 전압 확장가능한 고전압 NMOS 및 PMOS 트랜지스터 디바이스들은 20V ~ 100V의 다양한 드레인 소스 전압 레벨(VDS)에 최적화 되어 있으며 매우 낮은 온저항을 제공해 면적 축소의 결과를 제공한다. 50V의 고정형 트랜지스터 대신 전력 관리 애플리케이션에서 최적화된 30V NMOS 트랜지스터를 사용하여 약 50%까지 면적을 축소시켰다. 60V로 최적화된  NMOS 디바이스는 120V  NMOS 표준 트랜지스터와 비교할 경우 면적이 22% 더 축소된다. 대형 드라이버와 스위칭  IC처럼복잡한 고전압 아날로그/혼성 신호 애플리케이션을 개발하는 파운드리 고객사들은 웨이퍼 당 더 많은 다이를 생산할 수 있는 이점을 누릴 수 있다.

면적에 최적화된 디바이스는 자동차, 의료, 산업 분야 제품에서 사용되는 MEMS 드라이버, 모터 드라이버, 스위치 및 전력 관리 IC들과 같은 다양한 범위의 애플리케이션에서 이상적으로 사용할 수 있다. ams의 풀서비스파운드리 사업부는 전세계 파운드리 업체 중 파운드리 고객사에게 진정한 전압 확장가능한 트랜지스터를 공급하는 최초의 기업이다. 자동차(ISO/TS 16949) 및 의료(ISO 13485) 분야에서 완벽하게 인증받은 ams는 고객사를 위해 최고 수준의 품질 요건을 지원한다.

ams의 풀서비스파운드리 사업부 마커스 우체(Markus Wuchse) 제너럴 매니저는 “전세계 파운드리 가운데 전압 확장가능한 디바이스를 최초로 제공하는 ams는 고전압 CMOS 전용 프로세스를 개발하고 뛰어난 제조 서비스를 제공할 수 있는 전문 기술력을 검증받았다”면서 “ams의 벤치마크 프로세스 디자인 킷인 힛킷(hitkit) 뿐 만 아니라 고전압 공정 전문기술력을 통해 고객사들은 면적과 온저항을 최적화할 수 있는 HV 집적회로(IC)를 구현할 수 있으며, 이는 웨이퍼당 더 많은 다이를 구현할 수 있다는 것을 의미한다”라고 말했다.

이번에 발표된 고전압 공정 플랫폼의 확장은 ams가 추구하는 “반도체 그 이상의 가치실현(More Than Silicon”) 포트폴리에 추가된 것이다. 이는 ams 가 기술 모듈, IP(intellectual property), 셀 라이브러리, 엔지니어링 컨설턴트 및 서비스를 모두 아우르는 통합 패키지를 제공한다 점을 전제로 한다. 이를 통해 고객사들은 ams의 전문 기술력을 바탕으로 최첨단 아날로그 및 혼성신호 회로 설계를 성공적으로 개발할 수 있다”라고 말했다.

디바이스 레이아웃 제너레이터(PCells),  시뮬레이션 모델, Calibre 및 Assura를 위한 검증 룰 데크 및 디자인 룰 및 프로세스 파라미터 자료 등의 문서자료를포함해 전압 확장가능한 트랜지스터의 통합 셋트는 ams의 보안이 강화된 파운드리 지원 서버(http://asic.ams.com)를 통해 등록된 사용자만 다운로드하여 이용할 수 있다.

 

 
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Posted by on September 30, 2015 in NewProducts, Power

 

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ST마이크로일렉트로닉스, 의료 등급 모션 센서로 체내 이식형 애플리케이션 빠른 개발 가능

ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics, 이하 ST)가 초저전력 3축 가속도 센서인 MIS2DH를 선보였다. 이 제품은 체내 이식형 디바이스(implantable devices)와 같은 미국 식품의약국(Food and Drug Administration, FDA)이 클래스III(Class III)으로 분류한 의료 애플리케이션용으로 특별히 개발됐다. ST는 지난 수년동안 주요 의료 장비 제조업체들을 위한 커스텀 모션 센서를 개발해왔다. MIS2DH는 그 동안의 전문 지식을 기성품 솔루션으로 구현한 제품으로 활동 모니터링과 자세 감지와 같은 기능들을 다양한 의료 애플리케이션에서 구현할 수 있다.

심장 박동기, 삽입형 심실 제세동기(Implantable Cardioverter Defibrillator, ICD), 신경자극기(neurostimulator)와 같은 체내 이식형 의료 장치들은 지난 수년간 심장 질환 환자들의 수명을 연장시키거나 만성 통증에 시달리는 이들의 생활을 개선하는 데 성공적으로 이용되어 왔다. 최근 의료계는 새로운 체내 이식형 디바이스로 고혈압, 간질병, 신체 떨림(tremor)과 같은 만성적 문제들의 치료를 돕는 새로운 방법에 관심을 기울이고 있다. 대부분의 이러한 애플리케이션에서는 환자의 움직임과 자세를 측정할 수 있는 내장형 가속도 센서가 중요한 역할을 한다. 이식형 장치에서 전달되는 자극을 관리함으로써 치료 효과와 환자의 안락함을 향상시키기 때문이다.

ST, 메디컬용 가속 센서

지금까지 중소업체들의 혁신적인 의료 장치 개발 의욕을 떨어뜨리는 가장 큰 요인은 맞춤 설계된 센서와 FDA인증 획득에 많은 비용이 든다는 점이었다. MIS2DH는 3축 기계적 요소와 집적화된 전자 회로를 패키지 하나에 탑재했고 FDA 클래스III 승인을 위한 부수적인 지원을 제공한다.

• 전용 제조 및 검증 플로우(추가 점검, 선별 및 공정 제어 등)
• 생산 기록 10년 이상 유지 보장
• 의료 기준에 맞춘 제품 변경 관리 및 통지
• 배치(batch)마다 적합성 인증서(Certificate of Conformity, CoC)와 함께 출하
• 장기간 지원

가속도 센서 MIS2DH의 개발 및 생산은 ST 의료 도메인 규정을 완벽하게 따르고 있다. 이 규정은 민감한 의료 애플리케이션용 제품의 개발과 제조 플로우를 위해 ST가 2012년 자율적으로 채택한 것이다.

ST의 커스텀 MEMS 부문 안톤 호프마이스터(Anton Hofmeister) 사업 본부장은 “크고 작은 기업의 의료 연구원이나 전자 기술 전문가들이 체내 이식형 디바이스로 만성 질환자의 상태를 호전시키고 수명을 연장하는데 도움을 받는 새로운 방법에 눈을 돌리고 있다. 만성 질병은 전세계 인구 노령화에서 심각한 문제로 자리잡고 있다”며 “우리는 모션 센싱 분야의 세계 최고의 전문 기술을 보유하고 있다. 여기에 가장 엄격한 의료 규제 조건을 충족시키는 애플리케이션을 목표로 디바이스의 개발, 제조, 테스트에 강력한 절차를 적용했다. 이로써 비용 및 시장 출시기간을 크게 낮추어 이 분야의 발전에 기여하고 있다”고 말했다.

아이씨엔 매거진 news@icnweb.co.kr

 
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Posted by on September 20, 2015 in NewProducts, Power

 

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ST 첨단 센서, 원플러스 2 폰에서 탁월한 카메라 기능 구현

다양한 전자 애플리케이션에 걸쳐 고객들에게 기여하는 세계적인 반도체 회사 ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics, 이하 ST)는 자사의 최첨단 모션 및 근접 센서가 중국 유명 모바일 제조사 원플러스(OnePlus)의 최신 스마트폰인 원플러스 2(OnePlus 2)에 탑재됐다고 밝혔다.

원플러스의 2015년도 플래그십 모델인 원플러스 2는 ST의 센서로 더욱 우수한 카메라 시스템 성능을 구현하게 됐다. 인간의 눈과 비슷한 수준인 0.2초 초고속 포커스와 함께 첨단 광학식 흔들림 방지 기술로 유효 이미지 해상도를 20% 향상시켰다. 뿐만 아니라 일반 광학식 흔들림 방지 폰 카메라 시스템에 비해 전력 소비를 55% 줄였다.

원플러스(OnePlus)의 최신 스마트폰인 원플러스 2(OnePlus 2)

 

ST의 자이로스코프 L2G2IS로 원플러스 2의 광학적 이미지 안정화(optical image stabilization, OIS) 기능을 구현하여 낮은 조도의 사진에서 선명도를 향상시키고 모바일 영상의 흔들림을 없앴다. 이 2축 MEMS 자이로에 집적된 특수 센싱 요소가 측정된 각속도를 디지털 인터페이스를 통해 카메라에 전달한다.

이와 함께, ST의 근접 센서 VL6180은 스마트폰과 물체 사이의 거리를 정확하고 신뢰성 있게 계산하여 원플러스 2의 카메라 오토포커스 성능을 향상시켰다. VL6180은 간단하고 컴팩트한 패키지로 제공된다. ST의 혁신적인 플라이트센스(FlightSense™) 광감지 기술을 적용한 제품으로 특히 매크로 모드와 주변광이 낮은 환경에서 오토 포커싱 시간을 더욱 단축시키고 화질도 향상시킬 수 있다.

원플러스2의 360도 카메라 기능 구현과 사용자들의 제스처 제어 및 모바일 게임의 즐거움을 높이기 위해 프로그래머블 임베디드 상태 기계 2개를 포함하는 3D 디지털 가속도 센서와 3D 디지털 자이로스코프로 구성된 센서 시스템-인-패키지(LSM330)도 제공했다. 이 센서 콤보는 선택형 풀스케일 가속도 범위를 최대 ±16g까지 제공하며 각속도 범위는 최대 ±2000 dps에 이른다.

ST 아날로그, MEMS 및 센서 그룹 중국 및 남아시아 지역 담당 콜린스 우(Collins Wu) 상무는 “모든 가격대의 스마트폰에서 센서 기반의 첨단 기능 탑재가 증가하면서 중국과 같이 빠르게 성장하고 있는 시장에서 MEMS 및 센서 디바이스에 대한 수요가 따라서 늘고 있다”며 “원플러스와 같은 혁신적인 스마트폰 제조업체들과의 성공적인 협력은 ST의 IoT 포트폴리오가 제공하는 강점과 전세계 사용자들에게 향상된 모바일 경험을 제공할 수 있게 해주는 우리의 역할을 확인시켜 준다”고 말했다.

한편, 원플러스 올리버 장(Oliver Zhang) 제품 이사는 “ST와 같은 혁신적이고 기술을 추구하는 글로벌 회사, 특히 컨슈머 및 모바일 애플리케이션 분야의 MEMS 및 TOF 범위의 센서의 세계 최고의 공급사와 협력하여 전세계 원플러스 고객들의 기대치를 만족시키는 고성능 스마트폰을 구현할 수 있었다”고 말했다.

 
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Posted by on September 15, 2015 in Automation, Market, Power

 

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ST, 웨어러블 및 원격제어 애플리케이션용 보이스 오버 블루투스 저에너지 출시

다양한 전자 애플리케이션에 걸쳐 고객들에게 기여하는 세계적인 반도체 회사 ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics, 이하 ST)가 소프트웨어 기반 혁신 블루보이스(BlueVoice)를 통해 음성 제어 기능 추가를 한층 손쉽게 만들었다. 음성 제어는 웨어러블 기술을 더욱 간단하고 배터리 친화적으로 개발할 수 있도록 돕는다.

스마트 워치와 같은 고도의 제품이 등장하면서 웨어러블 부문이 뜨고 있다. 시장조사 업체인 IHS는 2019년 웨어러블 시장이 1억 3,500만대 규모를 이룰 것이며, 첨단 기능 지원을 위해 설계는 더욱 스마트해지고 센서의 양도 많아질 것이라고 전망했다. 사용 편이성과 배터리 수명은 고객들이 중요하게 생각하는 고려 사항으로 이미 자리잡고 있으며 음성 제어는 터치스크린 사용을 최소화 하는 방식으로 이 두 가지 모두를 향상시킬 수 있다.

ST가 시장을 선도하고 있는 무선 IC, 마이크로컨트롤러, MEMS 센서는 웨어러블 제품에 이상적이다. 새롭게 출시된 소프트웨어 블루보이스는 ST의 STM32마이크로컨트롤러, BlueNRG 초저전력 네트워크 프로세서, 디지털 MEMS 마이크로 구성된 시스템에서의 블루투스LE(Bluetooth® Low Energy)연결 음성전송 구현에 필요한 모든 드라이버와 라이브러리를 제공한다. 이는 스택을 구성할 수 있는 개발 보드 형태로 제공되며 손쉬운 프로토타입 개발을 돕는다.

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블루투스LE는 홈 오토메이션 시스템용 원격제어 장치(RCU)에서 와이파이 및 지그비(ZigBee®)와 함께 여러 이점을 제공한다. 블루보이스를 적용한 ST의 개발 플랫폼은 MEMS 마이크와 모션 센서를 이용한 음성 및 제스처 제어 기능 구현에 이상적이며 이를 통해 더욱 직관적이고 자연스러운 유저인터페이스를 구현할 수 있다.

STM32큐브(STM32Cube) 기술 기반의 새로운 osx블루보이스(osxBlueVoice) 미들웨어와 블루보이스링크(BlueVoiceLink) 소프트웨어 개발 키트(SDK)는 ST의 디지털 MEMS 마이크를 가지고 작업하는 개발자들을 지원하는 open.AUDIO 라이선싱 프로그램의 일부이다. open.AUDIO는 STM32 오픈 개발 환경에 연결되며, 이 개발 환경은 임베디드 프로젝트에서 STM32 ARM® Cortex® 32비트 마이크로컨트롤러를 사용하는 개발자들에게 상당 수준의 지원을 제공한다.

블루보이스링크 SDK는 평가 및 개발용으로 http://www.st.com/BlueVoiceLink에서 무상으로 다운로드가 가능하다.

아이씨엔 뉴스팀 news@icnweb.co.kr

 
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Posted by on June 25, 2015 in NewProducts

 

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베네데토 비냐 ST 수석부사장, IEEE 프레드릭 필립스 어워드 수상

Benedetto Vigna of ST

Benedetto Vigna of ST

ST마이크로일렉트로닉스의 아날로그, MEMS 및 센서 그룹의 베네데토 비냐(Benedetto Vigna) 수석 부사장이 IEEE의 프레드릭 필립스 어워드(Frederik Philips Award)를 수상했다.

베네데토 비냐 ST 수석부사장은 컴퓨터 게임 분야를 변화시키고 작고 사용이 쉬운 센서와 엑츄에이터로 스마트폰, 태블릿 등의 새로운 제품 구현에 기여했으며, 이러한 MEMS 창안, 개발, 상용화에서의 리더십을 인정받아 수상자로 선정됐다.

프레드릭 필립스 어워드는 국제전기전자기술자협회(Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE)가 수여하는 상으로, 베네데토 비냐 수석 부사장은 MEMS(micro-electro-mechanical systems) 창안, 개발, 상용화에서의 리더십을 인정받아 수상자로 선정됐다. ST는 컨슈머, 자동차, 산업 분야에 MEMS, 센서, 액츄에이터를 현재까지 90억개 이상 공급해 왔다.

아이씨엔 오윤경 기자 news@icnweb.co.kr

 
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Posted by on March 12, 2015 in People

 

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